ウェハ外観検査装置
特徴
- 検査対象 ：LSI, LD, Di, LED, パワー半導体, 化合物半導体, MEMS
- 検査例 ：カケ,ワレ,クラック,スクラッチ,パターン異常,異物,塗布不良,ズレ
- 検査内容に合わせた機能の選択が可能
- ミクロ検査 マクロ検査
- カラー検査 モノクロ検査
- エリアカメラ ラインカメラ
- 表面検査 表裏面検査
- 豊富なオプション機能による高精度検査が可能
概要
■ビューワーソフト
- 検査結果マップ表示機能
- NGチップ拡大表示機能
- 不良分類表示機能 （不良項目/検査総数/OK/NG）
■対象製品(例)
各種ウェハ、パワー半導体、CMOSイメージセンサ、LED、フォトダイオード
仕様
| ソフトウェア | 多機能画像検査ソフト Hu-Dra |
|---|---|
| カメラ | 500万画素モノクロエリアカメラ（ミクロ検査） 1,200万画素モノクロエリアカメラ（マクロ検査） 2,500万画素モノクロエリアカメラ（アライメント） |
| 装置サイズ | 1,350W×1,350D×1,800H mm パトライト、HEPA除く |
| その他 | レンズ、照明はワークと検査内容により、選定する必要があります。 |