ウェハ外観検査装置（ダイシング前）
特徴
- ウエハ工程・ダイシング工程で発生する外観欠陥の、高速かつ高精度な検査が可能
- 検査精度に合わせた画像分解能が選択可能です。 マクロ検査(約10um分解能以上）
- オートフォーカス機能（オプション）
- 全数のマーキングミスチェック機能あり（オプション）
- ID読込み及びマッピングデータ出力機能（オプション）
概要
■ビューワーソフト
- 検査結果マップ表示機能
- NGチップ拡大表示機能
- 不良分類表示機能 （不良項目/検査総数/OK/NG）
■対象製品(例)
各種ウェハ、パワー半導体、CMOSイメージセンサ、LED、フォトダイオード
仕様
| ソフトウェア | 多機能画像検査ソフト Hu-Dra |
|---|---|
| カメラ | 500万画素モノクロエリアカメラ（ミクロ検査） 1,200万画素モノクロエリアカメラ（マクロ検査） 2,500万画素モノクロエリアカメラ（アライメント） |
| 装置サイズ | 1,350W×1,350D×1,800H mm パトライト、HEPA除く |
| その他 | レンズ、照明はワークと検査内容により、選定する必要があります。 |