製品一覧

  • ウェハの外観検査

    ウェハ工程・ダイシング工程で発生する外観欠陥を、高速かつ高精度で検査が可能。

    ＜マクロ検査＞
    ウエハ状態でしみ、ムラ、キズを検査

    ＜ミクロ検査＞
    異物キズ、パターン欠損、パターンズレ、パターンショートを検出

    業種
    半導体
    検査内容
    高精度検査高速検査
    製品名
    ウェハチップ外観検査装置（ダイシング後） ウェハ外観検査装置（ダイシング前）